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方程简单的将光刻机的相关技术讲解了一遍之后,有专家当场问道:"方总,我们都知道,阿麦斯EUV光刻机的用到的极紫外光源材料是用的锡液滴。
我想请教一下,你们是怎么用高能激光连续两次同时击中直径仅为20微米的锡液的?"
方程摇了摇头,"我们使用的光源材料并不是锡滴液。"
专家们都有些惊讶!
"不是锡滴液?那是什么?"
方程解释说:"大家都知道,锡原子核外电子被激光能量轰击后发生跃迁。
这种跃迁的电子因为不稳定回到基态,从而释放出来极紫外光。
这种方式虽然也可以获得极紫外光,可是它的能量转换效率却不高。
我们在研究中发现了可以替代它的材料,氮化铝。它的能量转换效率要高很多。"
众位专家听了纷纷低声议论起来。
方程趁着他们议论之时,走到一张实验桌上,在抽匣里取出一张晶圆,拿到刘部长面前,"刘部,这是我们上次的测试晶圆。
这张12英寸,奥,也就是直径30.48厘米的晶圆,它的表面积大约为平方毫米。
按照现在的制程,这张晶圆在理论上可以切割出大约640块芯片。
考虑到良品率的问题,风车国的阿麦斯光刻机,大概能获得500块良品芯片。但我们的光刻机却能获得560块芯片。
所以说,在良品率上讲,我们的技术是要领先于他们的。"
大家听了忍不住都将目光投向了那张晶圆。
李部长轻轻从方程手中将这张薄薄的晶圆接过来,看了良久后,不由地感叹,"就是这样一张小小的东西,却让我们在国际市场上举步维艰。
现在有了它,我们的腰杆子才更硬了,说话的底气更足了!"
他看着方程,郑重其事地道:"方总,这张晶圆能不能送给我们?我们想把它带到京城去,让它走进我们的科技展览馆。"
"李部,这只是一张试验品…"
李部长却道:"在你的眼中,它只是一张试验品,但在国家的眼中,它代表的可是我们科技的力量。"
方程点了点头,神情严肃,"
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